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【M-Tech開催直前】まだ間に合う《無料招待券》プレゼント!!／真空環境下で使えるスイッチ
2010年06月 アーカイブ
あなたの「精密位置決め」のお悩み解決します!!
Q. 真空環境下で“直接タッチ”できる
位置決めスイッチってないものでしょうか？？
こんにちは、半導体装置業界のエンジニアです。
真空チャンバー内の基盤の位置決めをしたいのですが、
真空環境下で使用できるセンサがないため、
現在は光ファイバーセンサーを使用して「覗き窓」越しに、外から光を当てて基盤の位置決めをしています。
しかし、基盤の蒸着時に「覗き窓」が曇って誤検知したり、
光ファイバーセンサーは信号動作点が目に見えないため、現場でのセンサ取付け調整に２日以上掛かかってしまったりと、手間ばかりかかって困っています。
本当は真空チャンバー内にセンサを設置できれば良いのですが、
なにか良い「位置決め」方法はありますでしょうか…？
日本経済新聞に弊社の高精度位置決めスイッチが掲載されました！
高精度位置決めスイッチ メディア掲載
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