為工廠自動化做貢獻的精密定位感應器及對刀裝置專業廠商

Ultra precision position Swhitches  Metrol

高真空度等級對應型感應器[GN系列]

10-5Pa!

對應高真空度等級!!

全部使用低放氣零件製造,為高真空環境專用的定位感應器。
大型半導體製造商相繼選購該產品,用於真空蒸鍍,濺鍍裝置中晶圓或光罩的定位作業。

機型一覽

代表型號 輸出 信號線方向 下載
GN-PT5M3A A:NO 直向
產品型錄
(PDF)

2D CAD
GN-PT5M3B B:NC
GN-PT5M3A-R A:NO 直角
GN-PT5M3B-R B:NC

電氣規格 選購品與使用注意事項 技術指南

主要規格

接點構造 接點型
輸出 B:NC
動作點的重覆精度 ON⇄OFF皆為 0.003mm(範圍)常溫使用時的數值
對應真空度/烘烤容許溫度 10-5Pa/120℃
預行程 無(請在訊號的切換點上調整感應器的安裝位置。)
遲滯 0
機械壽命 300萬次
行程 1.5mm
接觸力 0.5N
接點額定值 DC5V~DC24V 固定電流10mA以下
(突波電流20mA以下)

應用

真空爐

偵測有無半導體晶圓

真空製膜設備

玻璃基板的定位

太陽能發電(PV)真空設備

玻璃基板的定位

FPD用真空製膜設備

玻璃基板的配向

FPD用真空製膜設備

光罩就位偵測

FPD用真空製膜設備

載具的原點定位

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配合客戶的使用用途「客製化」,
規格,尺寸,電路圖等詳細資訊,現在就可以閱覽。

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