工場の自動化に貢献する、精密位置決めスイッチの専門メーカー

精密位置決めスイッチはメトロール

高真空環境下での、光センサの誤検知を解決

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半導体業界

太陽光パネル向けの半導体を製造するための、真空蒸着装置を設計している、半導体製造装置メーカー様です。
基板のセンシング部設計のご担当者様より、真空環境下でのガラス基板の「位置決め」についてご相談を頂きました。

お客様の課題

真空チャンバー内の、ガラス基板の有無検出に、「光電センサ」を使用されていましたが、蒸着時のビューポートの曇りにより、誤検知が多くお困りでした。
また、ビューポート自体の加工費用も高く、そのコストも問題となっていました。

大手センサメーカーに相談し、高性能の光センサーも試用試験してきましたが、誤検知を防ぐことができません。

真空技術をテーマにした専門展示会「真空展」にご来場頂いた事をきっかけに、当社のスイッチを知り、お問い合わせいただきました。

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課題のポイント

  • 真空環境下でガラス基板の位置決めをしたい
  • 蒸着時のビューポートの曇りで、光センサが誤検知
  • ビューポートの加工費用が高い

メトロールのご提案

従来「光電センサ」は、照射した光の反射でワークを検知するため、曇りや水滴・乱反射などの外部環境の影響を受けやすく、誤検知が絶えません。

ほとんどのエンジニアの方は「真空環境下ではセンサは使えない…」とお考えです。

メトロールの「高真空度クラス対応形スイッチ」は、電子基板を使わず、低アウトガス対応部品だけで製造した、機械式の精密位置決めスイッチです。
10^-5Paまでの高真空度クラスに対応し、高真空環境下でも、確実にガラス基板を検知することができます。

スイッチの接触力を0.5N以下、先端を特殊樹脂にカスタマイズできるので、繊細なガラス基板を傷をつける心配もありません。

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採用結果

  • 10^-5Paの高真空環境下でのガラス基板の位置決めが実現
  • 直接ガラス基板に接触して検出するため、誤検知がない
  • ビューポートが不要になり、加工費用の大幅削減が実現

担当者のコメント

「光電センサ」や「ファイバーセンサ」などの光センサーは、信号点が目に見えないため、取付け調整に2日以上も掛かってしまった事例もあります。
メトロールの「精密位置決めスイッチ」は、接触式で信号点が目に見える為、設計時のCAD上で取付け位置を指定する事も可能です。

半導体業界では、「スパッタリング装置」「有機EL蒸着装置」「エッチャー」「ウェハー搬送装置」などの真空装置内での位置決めにも多数採用実績があります。

真空環境下での位置決め・有無検出でお困りの方は、ぜひ一度メトロールまでご相談ください。

評価用サンプルをご用意してお待ちしております。

cマーケティング部
担当I

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高真空度クラス対応形スイッチ

真空環境下での光センサの誤検知を解決!!
10^-5Paの高真空度クラスに対応した、精密機械式スイッチです

 

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