センサ導入事例
【徹底解説】半導体製造装置や真空チャンバーで使える精密位置決めセンサとは？
半導体製造ラインや真空チャンバー内は、通常よりもシビアなコンタミ・アウトガス対策が必要です。そのため、特殊で高価なパーツやセンサを使わざる得ない場面も...
センサ導入事例
高真空環境下での、光センサの誤検知を解決
半導体業界 太陽光パネル向けの半導体を製造するための、真空蒸着装置を設計している、半導体製造装置メーカー様です。基板のセンシング部設計のご...
