工場の自動化に貢献する、精密位置決めスイッチの専門メーカー

精密位置決めスイッチはメトロール

高真空度クラス対応形スイッチ〔GNシリーズ〕

10-5Pa
高真空度クラス対応!!

低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチです。

真空蒸着装置やスパッタリング装置内の、ウェハーやマスクの位置決め用途で、大手半導体製造装置メーカーに続々と採用されています。

機種ラインナップ

形式名 動作形態 コード方向 標準価格 ダウンロード
GN-PT5M3A A:NO ストレート 17,600円 VONAで購入
カタログ
(PDF)



取説
(PDF)

2D CAD



3D CAD
GN-PT5M3B B:NC 17,600円 VONAで購入
GN-PT5M3A-R A:NO 直角 17,900円 VONAで購入
GN-PT5M3B-R B:NC 17,900円 VONAで購入

電気的仕様 オプション・取扱い注意事項 テクニカルガイド

主な仕様

接点構造 接点形
動作形態 A:NO/B:NC
動作点の繰返し精度 ON⇄OFFとも 0.003mm(レンジ)
対応真空度/ベーキング許容温度 10-5Pa / 120℃
動作までの動き 約0.3(A:NO)/なし(B:NC)
応差 0
接点精度寿命 300万回
ストローク 1.5mm
接触力 0.5N
接点定格 DC5V〜DC24V 定常電流10mA以下(突入電流20mA以下)

真空環境下での位置決めアプリケーション

真空チャンバー

半導体ウェハーの有無検出

真空成膜装置

ガラス基板の位置決め

太陽光発電(PV)真空装置

ガラス基板の位置決め

FPD向け真空成膜装置

ガラス基板のアライメント

FPD向け真空成膜装置

マスクのトレイ着座検出

FPD向け真空成膜装置

キャリアの原点出し

採否のご検討に役立つ、より詳細な技術資料が、
今すぐ、無料ダウンロードできます!

お客様の用途に合わせた「カスタマイズ オプション」や、
仕様・サイズ・回路図などの詳細が、スグにご覧頂けます。

PDFカタログの無料ダウンロードは、こちらをクリック

お問い合わせフォーム

PAGETOP