GNシリーズ

高真空度クラス対応　低アウトガスタッチスイッチ

アウトガスの発生がない部品だけで製造しており、10-5Pa の高真空環境まで使用可能です。真空蒸着装置やスパッタリング装置内の、ウェハーやマスクの位置決め用途で、大手半導体製造装置メーカーに続々と採用されています。
・上限温度120度まで使用可能
・グリースや油は使用していません。

真空下で使える低価格センサ

真空対応のファイバセンサや変位センサはアンプやコネクタを含めると1台当たり20万円近くのコストがかかります。
GNシリーズは低コストでお客様のコストダウンを実現します。

使用条件に合わせた豊富なラインナップ

直進当てタイプ、ケーブル直角方向出しタイプ、ボールコンタクトタイプなど使用条件に合わせて豊富なラインナップのご用意があります。

使用環境に合わせた材質変更

一言に真空環境といってもお客様それぞれで環境は異なります。
環境に合わせて、センサ本体やケーブルの材質変更のカスタマイズが可能です。
※画像はリン青銅仕様になります。

コンタミ対策

通常ラインとは別で設置されたGNシリーズ専用のクリーンルームで製造を行い、コンタミ対策を徹底しています。

アプリケーションに応じて以下のカスタマイズが対応可能です。

・ケーブルの長さ変更可

・ご使用環境に応じて、コンタクト、ケース、ケーブルといったパーツの材質変更なども個別で承ります。