高真空度クラス対応形スイッチ

GNシリーズ

真空チャンバーなどの真空環境で問題となるアウトガスを排出しないタッチスイッチ

GNシリーズはアウトガスの発生がない部品だけで製造しており、10-5Paの高真空環境まで使用可能です。クリーンルームで製造を行いコンタミ対策を徹底しています。半導体製造ラインなどで多数採用。

  • 国内生産
  • ロングセラー
  • コストダウン
  • 超小型
  • 真空対応・低アウトガス
  • 耐熱仕様

選ばれる理由

高真空度クラス対応 低アウトガスタッチスイッチ

高真空度クラス対応 低アウトガスタッチスイッチ

アウトガスの発生がない部品だけで製造しており、10-5Pa の高真空環境まで使用可能です。真空蒸着装置やスパッタリング装置内の、ウェハーやマスクの位置決め用途で、大手半導体製造装置メーカーに続々と採用されています。
・上限温度120度まで使用可能
・グリースや油は使用していません。

真空下で使える低価格センサ

真空下で使える低価格センサ

真空対応のファイバセンサや変位センサはアンプやコネクタを含めると1台当たり20万円近くのコストがかかります。
GNシリーズは低コストでお客様のコストダウンを実現します。

使用条件に合わせた豊富なラインナップ

使用条件に合わせた豊富なラインナップ

直進当てタイプ、ケーブル直角方向出しタイプ、ボールコンタクトタイプなど使用条件に合わせて豊富なラインナップのご用意があります。

ボールコンタクトタイプ

ボールコンタクトタイプ

スライドする機構など摺動部の位置決めに適したボールプランジャタイプ。
大型でたわみが発生する有機ELディスプレイなど、ななめ方向から測定子に触れる場合に適しています。

コンタミ対策

コンタミ対策

通常ラインとは別で設置されたGNシリーズ専用のクリーンルームで製造を行い、コンタミ対策を徹底しています。

アプリケーションに応じて以下のカスタマイズが対応可能です。

アプリケーションに応じて以下のカスタマイズが対応可能です。

・ケーブルの長さ変更可

ご使用環境に応じて、コンタクト、ケース、ケーブルといったパーツの材質変更なども個別で承ります。

真空中でアウトガスを出さない『位置決めスイッチ』とは?

機種ラインナップ

偏角当り可 ボールコンタクトタイプ

型番 動作形態 繰返し精度 外形 全体の動き IP規格・保護構造 LED 価格 ダウンロード
GN-BP161B GN-BP161B B:NC 10μm M16×1 2.9mm IP40 無し ¥69,500
GN-BP5MA GN-BP5MA A:NO 10μm M5×0.5 1.0mm IP40 無し ¥19,500
GN-BP5MA-R GN-BP5MA-R A:NO 10μm M5×0.5 1.0mm IP40 無し ¥19,800

直進当り用

型番 動作形態 繰返し精度 外形 全体の動き IP規格・保護構造 LED 価格 ダウンロード
GN-CSK141B GN-CSK141B B:NC 10μm M14×1 5mm IP40 無し ¥69,500
GN-PT5M3A GN-PT5M3A A:NO 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 無し ¥17,600 VONAで買う
GN-PT5M3A-R GN-PT5M3A-R A:NO 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 無し ¥17,900 VONAで買う
GN-PT5M3B GN-PT5M3B B:NC 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 無し ¥17,600 VONAで買う
GN-PT5M3B-R GN-PT5M3B-R B:NC 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 無し ¥17,900 VONAで買う

主な仕様

繰返し精度  3μm / 10μm(レンジ)
接触力  0.5N~1.5N
外径 5~16mm
全長 18~47mm
当て方  直進・偏角・摺動
ストローク※全体の動き  1.0mm~5mm
保護構造  IP40
使用温度範囲 0~120℃
接点構造 接点形
動作形態 A : NO / B : NC
動作までの動き 無し~0.3mm
応差  0
接点精度寿命 300万回
コンタクト材質 A(NO):PEEK / B(NC):SUS HRC45
ケース材質 SUS304
ケーブル 標準長さ0.5m PTFE バラ線 AWG30相当
温度ドリフト 0(アンプがない為電子部品に伴う温度ドリフトがありません)
振動 10~55Hz複振幅1.5 X、Y、Z各方向
衝撃 300㎨ X、Y、Z各方向
接点定格 DC5V~DC2 4 V 定常電流 1 0 mA以下 突入電流 20mA以下
標準付属品 ナット2個
対応真空度 10-5Pa
ベーキング許容温度 120 ℃
注意事項 ※ 操作速度10mm/min以下での使用は避けてください。

利用例

太陽光発電(PV)真空装置

太陽光発電(PV)真空装置

太陽光発電(PV)真空装置
ガラス基板の位置決め

FPD向け真空成膜装置

FPD向け真空成膜装置

マスクのトレイ着座検出

真空チャンバー

真空チャンバー

半導体ウェハーの有無検出

FPD向け真空成膜装置

FPD向け真空成膜装置

ガラス基板のアライメント

FPD向け真空成膜装置

FPD向け真空成膜装置

キャリアの原点出し