磁気センサとは?基本原理や種類、現場での実践的なノウハウを解説

磁気センサは、製造業のデジタル化において欠かせない基盤技術です。自動車の回転数検出から工作機械の位置決め、スマートフォンの電子コンパスまで、私たちの身の回りの製品や産業設備の多くが磁気センサによって支えられています。

特に製造現場では、非接触で高精度な検出が可能な磁気センサが生産性向上と品質確保の鍵を握っています。

本記事では、磁気センサの基本原理から主要な種類、産業用途での選定ポイント、現場での実践的な活用ノウハウまで詳しく解説します。

前半では磁気センサの技術的基礎(原理・種類・用途・技術動向)を、後半では製造現場でよく使われる磁気式近接センサの実践的な選定・運用について説明します。

磁気センサとは

磁気センサ
磁気センサ

磁気センサは磁場を検知して電気信号に変換するデバイスであり、自動車からスマートフォンまで幅広い分野で不可欠な存在です。

非接触で磁石や電流から生じる磁場を読み取ることができるため、摩耗が少なく高い耐久性を持ち、回転や位置の検出、電流センサなど多用途に利用されています。

現在、ホール効果や磁気抵抗効果といった物理現象を利用したさまざまな方式の磁気センサが開発・実用化されています。

磁気センサの基本原理

ホール効果センサの原理模式図
ホール効果センサの原理模式図

ホール効果センサは、その名の通りホール効果を利用したセンサです。ホール効果とは、電流が流れる導体を垂直に磁場が通過すると、電流方向と磁場方向に直交する方向に電圧(ホール電圧)が生じる現象です。

ホール効果センサでは半導体基板上の薄い導体に電流を流し、垂直に磁場が加わると生じるホール電圧を検出します。この出力電圧は磁場の強さに比例するため、磁場センサとして機能します。

ホール素子自体の出力は微弱ですが、近年のホールICは内部に増幅回路や安定化回路を集積することで、実用的な感度と精度を実現しています。

ホール効果センサは構造が簡単でコストが低く、ほこりや泥水に強い堅牢性も持つため、位置検出や回転速度センサ、近接スイッチ、電流センサなどに広く使われています。

特に自動車ではリニア/角度位置検出やブラシレスDCモータの回転検出などに大量に用いられており、その年間出荷数は数億個規模にのぼります。

TMRセンサの構造と動作原理模式図
TMRセンサの構造と動作原理模式図

一方、磁気抵抗効果を利用したセンサでは、磁場の強さや方向によって電気抵抗が変化する性質を検出します。代表的な磁気抵抗センサには異方性磁気抵抗(AMR)、巨大磁気抵抗(GMR)、トンネル磁気抵抗(TMR)があります。

いずれも強磁性体薄膜の磁化の向きが変化するとキャリアの散乱やスピンの向きが変わり、結果として素子の抵抗値が変わる現象を利用しています。

AMRはニッケル-鉄合金(パーマロイ)薄膜などにおいて見られる磁気抵抗効果で、磁場と電流の角度によって抵抗が数%程度変化します。

GMRは強磁性/非磁性の多層膜構造で発現する量子力学的効果で、強磁性層同士の磁化方向が平行か反平行かで抵抗が大きく変わります。GMR素子では抵抗変化率(MR比)が20%前後まで向上し、ハードディスクの読み取りヘッドで実用化されました。

さらに近年発展したトンネル磁気抵抗(TMR)は、2つの強磁性層を極薄の絶縁層で挟んだ構造で、量子トンネル効果により電子がトンネルする確率が磁化方向によって変化します。

TMR素子はMR比が100%を超える大きな抵抗変化を示し、現在最も高感度な磁気センサ原理の一つとされています。ハードディスクの高感度磁気ヘッドや高精度角度センサに採用されており、信号対雑音比の高さと消費電力の低さも大きな特長です。

磁気センサの主な種類と特徴

磁気センサには上述した原理に基づき様々な種類があります。それぞれ感度や特性が異なり、用途に応じて使い分けられています。

ホール効果センサ

ホール効果センサを搭載したモジュール
ホール効果センサを搭載したモジュール

半導体上のホール素子で磁場によるホール電圧を検出するセンサです。感度や分解能は磁気抵抗型に劣るものの、構造が単純で安価かつ堅牢なのが利点です。

ほこりや水に強く非接触で位置検出ができるため、エンジン回転数センサ、車載スピードセンサ、近接開閉検知、電流センサなど産業から民生まで最も広く使われています。

特に自動車や産業機器分野でホールセンサの採用が多く、代表的な磁気センサの一つです。

AMRセンサ(異方性磁気抵抗センサ)

磁気異方性を持つ材料の薄膜ストリップで構成され、磁化と電流方向の角度によって抵抗が変化する原理を利用します。他の磁気抵抗型に比べMR比(抵抗変化率)は数%と小さいですが、構造が単純で高速応答・低ノイズであるため回転や角度の検出に適します。

ホール素子に比べ高感度で、モータの回転角検出や電子コンパスの要素技術としても利用されています。車載の角度センサや磁気スイッチ、電子羅針盤などに用いられます。

GMRセンサ(巨大磁気抵抗センサ)

GMRセンサのイメージ
GMRセンサのイメージ

強磁性/非磁性の積層薄膜構造によるGMR効果を利用したセンサです。平行磁化で低抵抗、反平行で高抵抗という2状態間で大きな抵抗変化が得られ、AMRより感度が高くなっています。

MR比は20%程度に達し、温度安定性にも優れるため精密磁場センサとして活用されています。代表例としてハードディスクの磁気ヘッドに長年使われてきたほか、産業用の高精度位置・角度センサにも利用されています。

ホール素子より高感度ですがTMRほどではなく、また強い磁場に曝されるとヒステリシスや特性変化が生じ得る点に留意が必要です。

TMRセンサ(トンネル磁気抵抗センサ)

先端的な磁気抵抗型センサで、絶縁層を挟んだ強磁性多層膜に量子トンネル効果を生じさせた素子です。高感度・低消費電力が最大の特長で、わずかな磁場変化も検出できます。

MR比が100%以上と非常に大きく信号対雑音比(SNR)が高いため、近年ではホール素子や従来型ポテンショメータを置き換える用途が増えています。

高精度な角度・位置検出が求められる用途(ハードディスク磁気ヘッド、車載用のステアリング角センサ、ゲームコントローラのスティック検出など)でTMRセンサの採用が進んでいます。

また消費電流が非常に小さいためバッテリ駆動機器にも適しており、スマートフォンの電子コンパスやIoTデバイスの省電力スイッチにも用いられています。現状最も高性能な磁気センサ技術であり、精度・温度特性・寿命の点で優れているため「最先端の磁気センサ」と評価されています。

磁気センサの主な用途

磁気センサは非接触で物体の位置や動作を検出できるため、様々な産業・製品で活躍しています。主な分野と用途の例を以下に挙げます。

自動車分野

車輪速度を計測するABSセンサ
車輪速度を計測するABSセンサ

現代の自動車には多数の磁気センサが搭載されています。エンジンや車輪の回転数センサ、クランクやカム位置センサ、ABSの車輪速度センサ、ステアリング角度センサ、シフトポジション検知などにホール効果センサやGMR/AMRセンサが用いられています。

非接触で耐環境性に優れる磁気センサは、自動車の過酷な環境下でも高い信頼性を発揮し、安全制御(ABSやESC)、エンジン制御、電動パワーステアリングなどの重要機能を支えています。

例えばABSでは各車輪にGMR/TMRセンサが配置され、ホイールの磁気エンコーダと組み合わせて回転速度を高精度にモニタしています。

自動車業界は磁気センサの最大市場の一つであり、一台の車に数十個の磁気センサが使われることもあります。

スマートフォン・モバイル機器

スマホの磁気センサによるコンパスアプリ
スマホの磁気センサによるコンパスアプリ

スマホやタブレットにも磁気センサが組み込まれています。代表例が電子コンパス(地磁気センサ)で、地球磁場を検知して端末の方位を測定するために使われます。近年のスマホコンパスは高感度なAMRやTMR方式の3軸磁気センサを用い、地磁気の微弱な変化を捉えています。

また折りたたみスマホではヒンジ部の角度検出に角度センサ(磁気式エンコーダ)が使われる例もあります。

他にもケースの開閉検知(ホール素子と磁石によるスリープ機能)やVRヘッドセットのトラッキングなど、コンパクトで低消費電力な磁気センサがモバイル・ウェアラブル機器で活用されています。

産業機器・ロボティクス

産業用ロボット
産業用ロボット

工場の生産設備やロボットにも磁気センサは多数利用されています。産業用ロボットの関節角度センサ、コンベアの位置検出、モータの回転位置フィードバックなどに角度・位置検出用の磁気センサが使われます。

磁気式エンコーダ(磁石と磁気センサによる回転位置検出)は高精度かつ堅牢なため、オイルミストや水蒸気などの光学式エンコーダだと検出不良が起こる環境でも安定して機能します。 また工作機械の直線位置計測や、輸送機器の速度検知、ラインフォローロボットの磁気ガイドなど、多岐にわたる産業用途で利用されています。

近年の産業用ロボティクスでは安全性と高精度化のためセンサ数が増加しており、磁気センサはその中心的役割を担っています。

家電・民生機器

SSDの内部
SSDの内部

家庭用電化製品やゲーム機にも磁気センサが活躍しています。ハードディスクやSSDの内部には磁気ヘッドやTMR素子が組み込まれていますし、ゲーム機のコントローラではホールセンサがトリガーボタンやジョイスティックの位置検出に使われる例があります。

近年ではTMRセンサを利用したゲーム用コントローラが登場し、従来の可変抵抗やホール素子よりも高精度・低消費電力な検出が可能になっています。

また洗濯機のモータ回転数検知、エアコンのコンプレッサー制御、スマート家電の開閉検知など、信頼性が求められる位置・速度検出に磁気センサが使われています。

医療機器

磁気センサを内蔵したMRI
磁気センサを内蔵したMRI

医療分野でも磁気センサの応用が広がっています。MRI(磁気共鳴画像)装置では強力な磁場を利用しますが、位置決めや安全監視に磁気センサが組み込まれています。

また心臓ペースメーカーには外部磁石で動作モードを変更するためのホールセンサが内蔵されています。近年注目されるバイオメディカル用途として、生体の磁場を計測するセンサがあります。

心臓や脳が発生する極微弱な磁場を非侵襲で計測する心磁図・脳磁図(MEG)では、超伝導センサ(SQUID)に加え、高感度なGMR/TMRセンサの応用研究も進んでいます。胎児の心磁計測や脳神経活動の計測デバイスへの応用が期待されています。

そのほか、体内に磁石を入れたカプセル内視鏡を体外から磁気センサで追跡する技術や、手術ロボットの位置検出への利用など、磁気センサは医療・ヘルスケア分野でも今後重要な役割を果たすでしょう。

磁気センサの技術動向

自動運転のイメージ
自動運転のイメージ

近年、磁気センサ技術は高感度化・小型化・省電力化をキーワードに飛躍的な進歩を遂げています。特にTMRセンサの台頭は顕著で、従来のホール素子では難しかった微弱磁場の検出や低消費電力動作を可能にしています。

実際、トンネル磁気抵抗素子は他方式に比べ「極めて高い感度」で「消費電流が非常に小さい」ため、ハードディスクから携帯機器、IoTセンサノードまで幅広い応用で注目されています。

ゲーム用コントローラのスティックやトリガーにTMRセンサを採用することで、従来のアナログポテンショメータやホールICよりも精密で消費電力の少ない入力検出が実現されつつあります。

また、自動車分野でも電動パワーステアリングやブレーキなど安全重要部位の検出に高精度なTMR/AMRセンサが求められ、研究開発が活発です。さらに、柔軟基板上に印刷して作製できるフレキシブル磁気センサや、スピントロニクス材料の新構造による超高感度センサなども研究段階にあります。これらは将来、ウェアラブルデバイスや生体埋め込みデバイスに組み込める可能性があります。

今後、磁気センサはさらに多様な分野で不可欠なテクノロジーとなっていくでしょう。特に自動運転(ADAS含む)の分野では、車両周囲の検知にはLiDARやカメラが注目されがちですが、車両制御そのものには引き続き磁気センサが重要です。

自動運転車ではこれまで以上に正確なモータ制御やステアリング制御が要求されるため、ステアリング角やモータ位置を検出する高信頼性センサが必要です。

電気自動車のモータには高精度な磁気式エンコーダが使われ、また各種アクチュエータの位置センサとしても磁気センサが安全冗長系まで含め複数搭載される傾向です。

自動車メーカー各社は将来の自動運転レベル向上に向け、磁気センサによる冗長で堅牢なフィードバック制御を取り入れており、市場規模も拡大しています。

実際、ある大手半導体メーカーでは車載ホール/GMRセンサを年間1億個以上製造し、自動車の車輪速やハンドル位置検出に供給している例もあります。自動運転が普及するにつれ、磁気センサの需要はさらに増大するでしょう。

経験者から見た磁気式近接センサの選定・運用ポイント

ここからは、製造現場でよく使われる磁気センサを応用した近接スイッチ(磁気式近接センサ)について、工作機械や金属加工での実践的な選定・運用ノウハウを解説します。

センサ選定時のチェックポイント

工作機械における磁気センサのイメージ
工作機械における磁気センサの選定

工作機械での磁気センサ選定では、まず検出対象物の材質確認が最優先です。炭素鋼やSUS430は問題ありませんが、SUS304やアルミ、樹脂部品では反応しません。

意外に見落としがちなのが、メッキ処理された部品です。ニッケルメッキは検出可能ですが、クロムメッキは薄すぎて検出困難な場合があります。

検出距離の設定では、カタログ値の70%以下で設計することを強く推奨します。検出距離8mmの製品なら、実際は5mm以下で使用する。これは温度変動や経年劣化、切削油の付着による感度低下を考慮した安全率です。

IP67/68の防水性能は必須ですが、実際の現場では継手部分からの浸水がある可能性もあります。センサ本体ではなく、配線の引き回し部や中継ボックスでの水侵入を防ぐため、配線は必ず下向きにU字ループを作って配線してください。

取り付け時の具体的な注意事項

工作機械
工作機械

磁気センサの取り付けでは、周囲300mm以内の金属物の影響を必ず確認します。特にワーククランプのシリンダーや治具の鉄部分が近接していると、誤動作の原因となります。

センサ本体の固定には、振動の影響を考慮して必ずロックナット付きのものを選定します。

配線では、電源線とセンサ線を同一ダクトに通すとノイズの影響を受けます。最低100mm離して配線し、センサ線にはシールド線を使用。シールドは必ず片端接地とし、両端接地は逆にノイズを拾いやすくなるため避けてください。

現場でよくあるトラブル事例と対処法

切削油のかかる工作機械
切削油による磁気センサの誤作動

最も多いトラブルは「切削油による感度低下」です。特に水溶性切削油は鉄粉を含んで磁性体化し、センサ先端に蓄積して誤動作を起こします。対策として、エアブローによる定期清掃を1週間ごとに実施し、センサ先端にシリコンコーティングを施すことで付着を軽減できます。

「温度による検出距離変動」も頻発します。朝一番の機械立ち上げ時と昼間の定常運転時で検出距離が1-2mm変化することがあります。これを防ぐため、センサの動作温度を確認し、必要に応じて断熱材や熱シールドを設置します。特にスピンドル周辺では70℃を超えることがあるため、耐熱性の確認が必須です。 「電気的ノイズによる誤検出」では、インバータや溶接機からの高周波ノイズが原因となります。応急処置としてセンサとコントローラ間にノイズフィルタを挿入しますが、根本対策はノイズ源からの距離確保と適切な接地です。

メトロールの高精度な位置決めセンサとは?

磁気センサは非接触検出による耐久性と汎用性で製造現場の様々な用途に対応できる一方、μm(マイクロメートル)レベルの超精密位置決めでは物理的な限界があります。

メトロールの高精度位置決めセンサは、繰返し精度0.5μmを実現するタッチスイッチから工具長測定のツールセッタ、機上測定用タッチプローブ、空圧式のエアマイクロセンサまで、工作機械の精密制御に特化した幅広い製品群で、磁気センサでは対応困難な微細なズレや接触確認を安定かつ確実に検出します。

高精度位置決めタッチスイッチ(位置決めセンサ)

高精度位置決めタッチスイッチ(位置決めセンサ)

接触式の高精度スイッチで、工作機械やロボット、治具などの位置決めやワーク有無検出に用いられます。最大繰返し精度0.5µmと極めて高精度で、IP67の防水防塵性能を備え、悪環境下でも安定動作します​。200種類以上の標準モデルがあり、狭所対応、高温対応、真空対応、低接触力タイプなどバリエーションが豊富です​。

ツールセッタ(工具長測定センサ)

ツールセッタ(工具長測定センサ)

CNC工作機械や産業用ロボットに搭載し、工具長の測定や原点位置出し、工具折損検知などに使用される接触式センサです​。工具の長さや摩耗、熱変位を機内で自動測定・補正することで加工不良を防止し、段取り時間を大幅短縮します​。世界74ヵ国で50万台以上の出荷実績があるメトロールのベストセラー製品です​。

タッチプローブ(機上測定プローブ)

タッチプローブ(機上測定プローブ)

工作機械やロボットに搭載し、加工前のワーク位置決め(芯出し)や加工後の寸法測定を自動で行う機内計測用の接触式プローブです​。繰返し精度1µmでワークの基準出し・寸法検査を自動化し、熟練者の手作業を置き換えることで段取り時間短縮や加工不良防止に貢献します​。有線式と無線式(ワイヤレス)のモデルがあり、5軸加工機やロボットへの後付けニーズにも応えています​。

エアマイクロセンサ(空圧式センサ)

エアマイクロセンサ(空圧式センサ)

空気圧を利用した非接触センサで、ワークの着座状態を数ミクロン精度で検出できます​。従来は困難だった10µm以下の隙間(「浮き」)を±0.5µmの繰返し精度で検知し、ワークと治具の密着不良による加工不良や設備のダウンタイムの発生を防止します​。半導体製造プロセスや精密部品のクランプ工程、研削盤の砥石位置合わせなどで活用され、国際標準のIO-Link通信にも対応したスマートセンサです​。

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