センサ導入事例
XYテーブルの熱変位をミクロンレベルで補正
半導体業界 スマートフォン用の半導体を製造している、大手半導体メーカー様です。半導体検査部門のご担当者様より、検査テーブルの「熱変位補正」...
センサ導入事例
高真空環境下での、光センサの誤検知を解決
半導体業界 太陽光パネル向けの半導体を製造するための、真空蒸着装置を設計している、半導体製造装置メーカー様です。基板のセンシング部設計のご...
タッチスイッチ導入事例,
センサ導入事例
【事例】卓上ロボットのZ軸の熱変位を、ミクロン単位で補正
装置業界 電子基板用の卓上ロボットを製造している、装置メーカー様です。自動ハンダロボットの設計ご担当者様より、ハンダヘッドのZ軸の熱変位補...
