センサ導入事例
【徹底解説】半導体製造装置や真空チャンバーで使える精密位置決めセンサとは？
半導体製造ラインや真空チャンバー内は、通常よりもシビアなコンタミ・アウトガス対策が必要です。そのため、特殊で高価なパーツやセンサを使わざる得ない場面も...
タッチスイッチ導入事例
真空対応ステージの位置決め
半導体製造装置や真空チャンバー内のステージ位置決めにおいて、設計者の皆様は常に「高精度」と「低コスト」、そして「スペースの制約」という課題に直面してい...
タッチスイッチ導入事例
半導体ウェハの有無検出
半導体製造におけるウェハー検出の課題とリスク半導体製造装置の設計において、真空チャンバー内のウェハー有無検出は歩留まりを左右する極めて重要なプ...
タッチスイッチ導入事例
小型人工衛星・月面ローバー・宇宙ロボットの原点出し・展開確認に（宇宙用リミットスイッチ）
宇宙機器向け「小型タッチスイッチ」という選択肢小型人工衛星、月面ローバー、宇宙ロボットなど、宇宙機器の小型化・軽量化が進む中で、機構の「位置決...
センサ導入事例
高真空環境下での、光センサの誤検知を解決
半導体業界 太陽光パネル向けの半導体を製造するための、真空蒸着装置を設計している、半導体製造装置メーカー様です。基板のセンシング部設計のご...
